各種真空装置

PE-CVD・RFスパッタリング・EB及び抵抗加熱蒸着等の成膜装置・真空排気ユニット

各種アニール装置

熱源:ハロゲンランプ・Xeフラッシュランプ・電気炉・高周波・マイクロ波

各種チャンバー

真空チャンバー・高圧水蒸気熱処理用チャンバー設計製作

その他コンポーネンツ

スッパタターゲット各種材料・バッキングプレート製作・水晶振動子・磁性流体シール

研究・開発装置製作

大学等学術研究機関及び商用の半導体、FPD、OLEDなど製品開発に用いる基礎研究、応用研究実験装置を製作いたします。研究テーマや検証方法、実験場に合わせてサイズ、機能、精度を設計し製作いたします。

半導体解析サービス

半導体キャリアの解析を承ります。

  1. 2次元光誘起キャリヤ実効ライフタイム測定
  2. 光誘起キャリヤ再結合欠陥解析
  3. 欠陥解析、欠陥低減技術相談

※解析は株式会社サメケンに委託しています

部品・ソフトウェアカスタマイズ

真空フランジ等の加工品の製作・修理・改造及びPLCのソフトウェア制御設定、カスタマイズを承ります。